アルバック成膜 (株)

  • 小間番号: 25-65
  • 展示会: BIO tech 2017 第16回 バイオ・ライフサイエンス研究展
  • 国名: 日本
  • 大型ガラス基板によるマイクロ流路・マイクロストラクチャー加工
  • 半導体・FPD用マスクブランクスのメーカーとして培って来たDefect free成膜技術をベースにした大型ガラス基板によるマイクロ化学チップの量産を可能にいたします。 是非ブースにお立ち寄り頂き実物を目にして下さい。

    出展製品・技術一覧

    • ガラスMEMSファンドリーサービス

      ガラス・シリコン等を基材としたウェットエッチング・マイクロブラスト・ボンディング加工を提供いたします。370×470mmまでの大型基板に対応可能である事を特長としています。

    • マイクロ化学チップ

      大型ガラス基板によるマイクロ化学チップ試作品 基板サイズ:13×14インチ 配列:16×14=224チップ(チップサイズ:□20mm)

    • ガラスモールド(ウェルプレート)

      φ300mmウェハサイズまでのエリアにおいて均一かつ低欠陥のウェルパターンを形成可能です。写真はIBMとSUSS Micro Tecの共同開発によるC4NP向け半導体ハンダバンプ形成用ガラスモールドの例になります。

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